Ring groove SiC wafer chuck for semiconductor metrology and lithography
Ultra flat of nanometer level all through 8/12 inch and local 25x25mm
Durable ,reliable and stable
真空チャック SIC ピンチャック リング溝チャック SIC ウェーハチャック
Ring groove SiC wafer chuck for semiconductor metrology and lithography
Ultra flat of nanometer level all through 8/12 inch and local 25x25mm
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